1. (Chimie physique) Processus de croissance cristalline, couche par couche, l'organisation des entités moléculaires ou atomiques des couches étant déterminée par le réseau d'une matrice cristalline sous-jacente.
2. L' épitaxie est une technique de croissance orientée, l'un par rapport à l'autre, de deux cristaux possédant un certain nombre d'éléments de symétrie communs dans leurs réseaux cristallins. On distingue l'homo-épitaxie, qui consiste à faire croître un cristal sur un cristal de nature chimique identique, et l'hétéro-épitaxie, dans laquelle les deux cristaux sont de natures chimiques différentes.
3. (Chimie physique, Électronique) Technique permettant la croissance contrôlée d'une couche cristalline sur un substrat, de telle sorte que la structure atomique de la couche déposée soit dictée par celle du substrat.
4. Processus de croissance cristalline, couche par couche, l'organisation des entités moléculaires ou atomiques des couches étant déterminée par le réseau d'une matrice cristalline sous-jacente.Notes : Ce terme est défini avec un sens plus restreint dans le domaine des composants électroniques.
